Hệ Thống Vi Thao Tác Probe Stations

Hệ thống vi thao tác ứng dụng rộng rãi trong công nghệ xử lý vi mạch, mạch tích hợp (intergrated circuit, gọi tắt là IC). Các linh kiện bán dẫn và linh kiện điện tử thụ động nằm trên vi mạch có kích thước vô cùng nhỏ(từ µm trở xuống) mà thao tác bằng tay không thể thực hiện được. Chính vì vậy cần các hệ thống vi thao tác để hỗ trợ kiểm tra, sửa chữa, bảo trì.

Công dụng của hệ thống vi thao tác

Hệ thống vi thao tác sẽ thu tín hiệu vật lý từ các điểm bên trong của thiết bị bán dẫn. Trạm đo sử dụng các bộ điều khiển cho phép định vị chính xác các kim mỏng trên bề mặt của thiết bị bán dẫn. Nếu thiết bị đang được kích thích bằng điện, tín hiệu được thu bởi đầu dò sẽ hiển thị trên máy hiện sóng hoặc SMU. Chính vì vậy trạm vi thao tác thường được sử dụng trong phân tích lỗi của các thiết bị bán dẫn.

Nguyên lý hoạt động:

Một trạm đo vi thao tác có một thiết bị để cố định wafer hoặc die, và sử dụng một “stage”để xác định chính xác vị trí thiết bị. Trạm đo vi thao tác được đặt trên một bề mặt phẳng, được gọi là Plat Platen. Người dùng cài đặt các đầu dò(probe arms and tips) vào trạm đo. Sau đó sử dụng kính hiển vi, được gắn phía trên trục lăn, để đặt các đầu dò vào các vị trí chính xác trên thiết bị. Thiết bị sẽ được kiểm tra khi tất cả các đầu dò được đặt ở vị trí chính xác của chúng. Đối với các tấm wafer có nhiều khuôn, người dùng sau đó có thể nâng trục lăn lên, sẽ tách các đầu dò ra khỏi khuôn, sau đó chuyển “stage” sang khuôn tiếp theo và lặp lại thao tác. Bước này thường rất đơn giản vì các khuôn của wafer là giống hệt nhau.

Tư vấn và đặt hàng hệ thống vi thao tác Probe Station tại Việt Nam:

Lidinco cung cấp thiết bị phân tích, hệ thống vi thao tác probe station dùng cho vi mạch, mạch tích hợp chính hãng từ các thương hiệu hàng đầu trên thế giới như Micromanipulator, Cascade Microtech. Ngoài ra chúng tôi còn có đội ngũ kĩ thuật viên giàu kinh nghiệm tư vấn miễn phí, tận tình. Liên hệ ngay nếu bạn cần hỗ trợ:

Công ty TNHH Đầu Tư Phát Triển Cuộc Sống

Địa chỉ: 487 Cộng Hòa, Phường 15, Quận Tân Bình , TP. HCM Phone: 028 3977 8269 / 028 3601 6797