Máy đo độ dày vật liệu mỏng X-Prep Vision™

Giới thiệu tổng quan máy đo độ dày vật liệu trong suốt X-Prep Vision™

X-Prep Vision™ là một công cụ cho phép đo đạt các thông số về độ dày của các vật liệu như chất nền silicon và các chất bán trong suốt. Đây là một thiết bị phân tích cần thiết cho các ứng dụng cần độ mỏng và đồng đều trên các vật liệu có kích thước rất nhỏ

Các vật cố định Adaptor củng được gia cố tăng độ an toàn cho các công đoạn cơ giới hóa trên X-Prep Vision™. Đảm bảo các công cụ đo lường được căn chỉnh khi di chuyển giữ các hệ thống khác nhau

Bộ dữ liệu hơn 130 thông tin về các loại chất nền khác nhau như: GaAs, InGaAs, SiC, Sapphire / Al ₂ O ₃ , InP, SiGe, GaN, photo-resist) được tích hợp trong thiết bị

Phương thức hoạt động máy đo độ dày X-Prep Vision™

Ánh sáng hồng ngoại được tập trung vào mẫu và tín hiệu về chỉ số khúc xạ của mẫu được trả về qua phần mềm phân tích và cho ra tín hiệu độ dày

Đo độ dày dưới 10μm: để đo được độ dày của các vật liệu trong suốt có kích thước nhỏ hơn 10μm tức là ở độ chính xác rất cao nằm ngoài dải đo của máy đo độ dày X-Prep Vision (10μm – 1mm) bạn cần phải lắp quang phổ kế để hỗ trợ quá trình đo

Các đặc điểm nổi bật của máy đo độ dày X-Prep Vision

• Chức năng quét đa điểm và đo độ dày tại từng điểm xác định
• Cơ giới hóa, tự động hóa X/Y/Z (tự độn focus) tốc độ <1s
• Phạm vi đo 10 micron – 1mm phù hợp cho các phép phân tích SEM/TEM (để đo được độ dày có kích thước dới 10 micron cần trang bị thêm quang phổ kế #15-51000)
• Loại trừ cạnh với đầu vào X/Y
• Khả năng điều hướng bằng phần mềm
• Tự động phát hiện cạnh và góc để căn chỉnh lưới đo
• Được trang bị tính năng chuyển đổi adaptor
• Được tích hợp phần mềm X-Correct độc quyền của Allied High Tech
• Độ ghồ ghề tối thiểu 15 micron
• Quan sát vật mẫu ở dạng 2D hoặc 3D
• Kích thước bàn soi 100mm x 100mm
• Cần mua riêng máy ảnh CCD (#15-50020) để có thể quan sát quá trình làm việc nếu không sử dụng máy quang phổ (#15-51000)
• Xuất dữ liệu qua các phần mềm tiêu chuẩn của Windows
• Tự động hóa phần mềm có thể mở rộng thông qua .NET
• Kích thước (355 x 431 x 483 mm)
• Bảo hành 1 năm